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設備配置：
超聲波震動儀2臺
氣槍2只，水槍2只
觸摸屏1個（含PLC控制）
液位sensor 3個及漏液檢測sensor1對
設備功能：
可處理wafer破片之后的FOUP
可作為FOUP 或parts 輔助量測設備
可作為FAB內各種parts 清洗機
定期的Auto cleaner monitor FOUP
產能可根據要求設計制作
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