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氟硅酸又稱硅氟氫酸，化學式為H2SiF6，是一種氣態酸，無水氟硅酸是無色氣體，不穩定，易分解為四氟化硅和氟化氫。水溶液無色，是強酸，有腐蝕性，能侵蝕玻璃。保存于蠟制或塑料制等容器中。濃溶液發煙，冷卻時析出無色二水物(二水合氟硅酸)晶體，熔點19℃。氟硅酸有消毒性能。
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