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Sic涂層，產品厚度均勻性好、致密性較好，化學配比性好、性能比較穩 定，導熱系數高，熱膨脹系數小，具有阻氧、阻碳、耐壓、耐磨、自潤 滑、無揮發、抗熱震、抗燒蝕等優良性能。該涂層能夠提高產品質量， 極大的延長部件使用壽命。用于氫化爐的部件，CZ裝置的導流筒和用于 PECVD, MOCVD裝置的晶片載體。
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