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氟氧化釔(YOF)噴涂粉品牌
中銘瓷產地
浙江樣本
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氟氧化釔(YOF)噴涂粉
氧化釔噴涂粉主要用于特殊陶瓷和金屬部件的表面保護。同時,它通過各種噴涂工藝提供保護,防止暴露在等離子體或腐蝕性氣體中,并可以抵抗半導體材料加工設備中腐蝕性氣體或等離子體產生的化學和/或物理影響。這些組件包括等離子體或真空室(如等離子體蝕刻機)的部件,如介電窗、室壁、室襯里、基板支撐、擋板、氣體分配板、氣體分配環、卡盤機構(如靜電卡盤)、聚焦環、噴嘴、緊固件、加熱元件、等離子屏幕和其他類似組件。
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