中國粉體網訊 精細陶瓷和金屬、塑料材料相比，具有更卓越的強度、抗腐蝕性和耐熱性等特性，是具有獨特魅力的一種先進材料。日本礙子充分利用該特點，將其應用到眾多產業之中。其中，陶瓷加熱器和靜電吸盤等，為半導體制造過程帶來了巨大的變革，也顯示出精細陶瓷具有的無限可能性。
半導體制造中必不可少的就是化學氣相沉積（CVD）和刻蝕的環節。在這些環節中使用的制造設備需要具備保護硅晶圓、加熱溫度均衡、且不易被二氧化碳和等離子腐蝕等要求。日本礙子在滿足這些要求的基礎上，以氮化鋁（AlN）陶瓷為主，發揮材料的特性，將半導體制造設備上需要使用的靜電吸盤、加熱器、各種零部件產品化。
日本礙子的陶瓷加熱器
日本礙子生產的陶瓷加熱器，被設計用于支撐和加熱硅晶片。它們由具有出色導熱性的氮化鋁(AlN)制成。它們與電阻加熱元件共同燒結，以提供出色的熱均勻性，并減少金屬污染。
日本礙子的靜電吸盤
日本礙子生產的靜電吸盤，被設計用于夾住硅片并使其保持平整，從而使硅片均勻地散發從等離子體接收到的熱量。其靜電卡盤具有優異的強度、導熱性和抗熱震性，并且由于其專有的體積電阻率控制技術，能夠適應各種溫度。用于此應用的材料有氮化鋁（AlN）和氧化鋁（Al2O3）。
日本礙子的陶瓷零部件
（中國粉體網編輯整理/平安）
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