中國粉體網訊 近日，由第三代產業技術創新戰略聯盟成員單位賽邁科先進材料股份有限公司牽頭，聯合北京北方華創微電子裝備有限公司、湖南三安半導體有限公司、山東大學、中國科學院半導體研究所聯合提出的《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》團體標準提案，經CASAS管理委員會投票獲得通過，2024年3月4日正式立項，并分配標準編號：T/CASAS 048。
T/CASAS 048—20XX《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》描述了碳化硅單晶生長用等靜壓石墨的術語和定義、材料規格說明、基本要求、技術要求、檢驗規則、標識、包裝、運輸和貯存。適用于純度達到5N5（99.9995wt%）以上的碳化硅單晶生長用等靜壓石墨。
在碳化硅半導體領域，等靜壓石墨是PVT法生長單晶的重要耗材，占據生產物料成本的約30%，用以制造單晶生長用的熱場部件（包括坩堝及內部構件、電阻加熱器等）；同時，等靜壓石墨的使用表現，也極大的影響晶體質量，質量良好的等靜壓石墨熱場能提升晶體生長良率。由于工況中有極高的運行溫度、復雜的腐蝕情況、嚴苛的潔凈度要求，因此，用戶對該領域用的等靜壓石墨具有更加高的使用要求和質量標準，這體現在純度、強度、抗腐蝕性、均勻性等多個方面。當前，我國石墨產業發展蓬勃，但存在“高端產能不足、中低端產能過剩”的問題。希望以此標準的制定，銜接產業鏈上中下游，共同探討產品需求的更多共識，促進我國石墨產業的轉型升級、提質增效、創新發展。
秘書處將向CASAS正式成員發出征集起草單位的通知，組建標準起草小組，請CASAS正式成員關注秘書處郵件（casas@casa-china.cn）。
牽頭單位介紹
賽邁科先進材料股份有限公司成立于2007年，是中國領先的大規模、高品質特種石墨材料研發生產的高科技企業，公司現有兩大生產基地，分別位于浙江湖州和寧夏銀川，總占地面積約1000畝。公司具備綠色環保的先進生產工藝，其石墨材料和碳材料產品廣泛應用于清潔能源、可再生能源、半導體、工業爐、精密模具等行業領域，公司提供基千石墨和碳材料的增值服務和產品，包括精密加工、材料純化、表面處理、檢驗檢測等。
公司始終把自主科研創新能力作為企業核心競爭力，是國家級高新技術企業、國家專精特新“小巨人”企業，公司的實驗室已取得國家認可委(CNAS)認證，具備對公眾和社會服務能力，同時也是中國石墨行業唯一加入美國材料與試驗協會(ASTM)，成為組織成員單位的企業；至2023年為止，公司已參與編制國家標準、行業標準、ASTM標準等共計19項；公司已與中國工程院、中國科學院著名院士共同建立院士專家工作站，并建立了國家級博士后工作站、省級重點企業研究院等創新平臺；公司與全球范圍領先的研究機構和高校開展合作，包括中科院、清華大學、牛津大學等，為全球各行業用戶提供更有創新性的產品和服務。
（中國粉體網編輯整理/空青）
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