中國粉體網訊 聚焦環是放置在晶圓外部、直接接觸晶圓的重要部件，通過將電壓施加到環上以聚焦通過環的等離子體，從而將等離子體聚焦在晶圓上以提高加工的均勻性。
傳統的聚焦環由硅或石英制成，隨著集成電路微型化推進，集成電路制造對于刻蝕工藝的需求量、重要性不斷增加，刻蝕用等離子體功率、能量持續提高，尤其是電容耦合（CCP）等離子體刻蝕設備中所需等離子體能量更高，因此碳化硅材料制備的聚焦環使用率越來越高。
國內碳化硅聚焦環實力企業榜單如下（企業排名不分先后）：
蘇州珂瑪材料科技股份有限公司
蘇州珂瑪材料科技股份有限公司業務主要包括先進陶瓷材料零部件的研發、制造、銷售、服務以及泛半導體設備的表面處理服務等。公司擁有由氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁、碳化硅、氧化釔和氧化鈦，六大類材料組成的先進陶瓷基礎材料產品體系，主要應用于腔室內，其中部分零部件直接與晶圓接觸，是集成電路制造中關鍵的精密零部件，包括聚焦環等產品。
吉盛微（武漢）新材料科技有限公司
吉盛微（武漢）新材料科技有限公司成立于2023年3月，為盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司在武漢投資成立，主要從事半導體及泛半導體設備用CVD SiC原材料及SiC 部件（Ring、Shower Head、Boat、Fin、Tube、plate、Susceptor、Bolt、Pin等）、超高純高精密陶瓷材料及部件、SiC Epi Wafer、CVD SiC設備的研發及生產制造。2023年12月8月，吉盛微（武漢）新材料科技有限公司碳化硅制造基地在武漢經開綜合保稅區正式投產。目前，該公司已完成了刻蝕、擴散、外延、快速熱處理等多個工藝的零部件、耗材開發工作，覆蓋碳化硅聚焦環、簇射極板以及晶圓舟等領域，部分產品填補了國內空白，具備穩定的生產供貨能力。
深圳市志橙半導體材料股份有限公司
深圳市志橙半導體材料股份有限公司成立于2017年，公司成立以來主要研發、生產、銷售用于半導體設備的碳化硅涂層石墨零部件產品，并提供相關碳化硅涂層服務，主要產品可用于碳化硅（SiC）外延設備、MOCVD設備、硅（Si）外延設備等多種半導體設備反應腔內，公司產品及服務廣泛應用于半導體及泛半導體領域。同時志橙半導體也在積極開展外延、刻蝕、氧化擴散和晶體生長等半導體設備用實體碳化硅零部件、燒結碳化硅零部件和碳化鉭涂層石墨零部等新產品，包含聚焦環、氣體噴淋頭等實體碳化硅零部件，爐管等燒結碳化硅零部件等產品，用于刻蝕設備的實體碳化硅零部件產品聚焦環已取得研發突破，進入客戶驗證階段。
浙江六方半導體科技有限公司
浙江六方半導體科技有限公司成立于2018年，專注于半導體新材料研發及生產的企業，為半導體關鍵上道工藝（長晶、外延、刻蝕等）提供半導體涂層產品，主要產品為 LED芯片外延用SiC涂層基座、化合物半導體涂層組件、硅單晶外延基座、新一代光伏用涂層部件、SiC聚焦環等。3月23日，由六方科技創始人何少龍牽頭主持的國家重點研發計劃“高端功能與智能材料”重點專項“大尺寸超高純超厚立方相碳化硅材料制備關鍵技術及應用”項目啟動會暨實施方案論證會順利舉行。該項目聚焦于刻蝕設備所需的聚焦環和快速熱處理設備所需的邊緣環，深入研究大尺寸超高純超厚CVD-SiC材料生長方法、部件精密加工技術、服役性能與失效機理，同時開展產業驗證與全產業鏈應用研究，解決 CVD-SiC精密部件的國產化難題，關系到國家優先發展的重點領域。
深圳云在上半導體材料公司
深圳云在上半導體材料有限公司是一家專注于半導體核心材料與零部件研發和生產的高新技術企業，是省重點高新技術企業。2019年，公司切入半導體芯片行業的產業鏈，通過海外并購和自主研發并行的模式，迅速占領Fab領域高端客戶市場，與韓國頭部企業FST與KSTE得益于前期合作與共同開發，積極布局半導體芯片設備和關鍵材料并實現國產化，云在上用三年時間完成從基礎研究到產業鏈的整合，成功研發出靜電吸盤與碳化硅聚焦環兩款產品，目前，已與國內頭部芯片廠商結成戰略合作伙伴。2024年5月份，公司與老河口市政府簽訂了《云在上碳化硅產業園項目投資協議》，項目投資10億元，主要生產芯片中的關鍵耗材。
凱樂士股份有限公司（Kallex Company,Ltd.）
凱樂士股份有限公司（Kallex Company,Ltd.）成立于1996年，碳化硅(SiC)的及其他各種精密陶產品的研發和制造。目前的產品主要應用于耐磨損，耐腐蝕，耐高溫，耐電漿轟擊，高導熱，高散熱，低污染，壽命長等一種或同時數種以上各式嚴苛要求之環境的產業領域。凱樂士備有各種型式規格碳化硅聚焦環，且可客制化制作。
軒運科技有限公司
軒運科技有限公司（Max Luck Technology Inc.），成立于2015年4月，是半導體設備零件專業設計、制造及銷售廠商。軒運科技獨家代理國際半導體制程與設備改良改善方案CIP（Continuous Improvement Process）能力，產品涵蓋半導體前端設備的耗材翻修及模組代工，解決客戶良率提升、延長使用壽命和縮短等待時間。
Semicorex
Semicorex是化學氣相沉積(CVD)碳化硅涂層產品的供應商，提供各種高質量產品，例如碳化硅涂層石墨基座、碳化硅涂層、深紫外外延基座、CVD襯底加熱器、CVD碳化硅晶圓載體、晶圓舟以及半導體元件和碳化硅陶瓷產品等。Semicorex CVD SiC 聚焦環經過精細沉積和機械加工，以獲得最終產品。
來源：
化合物半導體洞察：半導體設備碳化硅（SiC）零部件行業研究報告
各企業官網、武漢經開區、企業招股書
（中國粉體網編輯整理/空青）
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