中國粉體網(wǎng)訊 2025年8月21日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長及晶圓加工技術(shù)研討會(huì)”在蘇州·白金漢爵大酒店成功召開！大會(huì)期間，中國粉體網(wǎng)記者有幸邀請到多位專家、企業(yè)界代表做客我們的“對話”欄目暢談碳化硅半導(dǎo)體前沿技術(shù)、裝備與產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展，共同展望這一戰(zhàn)略性材料的無限潛能。本期為您分享的是蘇州三光科技股份有限公司副總經(jīng)理姜緒丹的專訪。
中國粉體網(wǎng)：請您從主營產(chǎn)品，行業(yè)地位等方面介紹一下三光科技。
姜總：蘇州三光科技股份有限公司成立于1966年，到明年正好滿60年，公司原名叫蘇州第三光學(xué)儀器廠，隸屬于機(jī)械局。由于產(chǎn)品做的好，公司決定做外銷。1989年我們與香港大同國際機(jī)械有限公司合資，成為一家合資企業(yè)。為了提升技術(shù)、品控質(zhì)量等，1994年我們又和電加工行業(yè)龍頭企業(yè)日本沙迪克公司二次合資，合資后更名為蘇州沙迪克三光機(jī)電有限公司，后來為公司技術(shù)研發(fā)擴(kuò)展，公司在新三板上市，成為一家股份有限公司。
公司多年來深耕電加工領(lǐng)域，致力于電加工類產(chǎn)品，主要是做電火花數(shù)控線切割機(jī)，包括快走絲、中走絲、慢走絲等一系列的線性切割產(chǎn)品，還有電火花成形機(jī)、電火花數(shù)控穿孔機(jī)等等。目前公司屬于行業(yè)內(nèi)龍頭企業(yè)，同時(shí)也是電加工行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員單位，也是參與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化制定的單位之一。
中國粉體網(wǎng)：貴公司設(shè)備最獨(dú)特的優(yōu)勢是什么？
姜總：在國內(nèi)，我們的產(chǎn)品一直以精度高、效率快、切的光而出名，主要是應(yīng)用于模具類或者零件類和特種材料的加工。在電加工行業(yè)中，切割精度要達(dá)到微米級，表面粗糙度達(dá)到0.6μm左右，跳步精度是在0.01以內(nèi)。在整個(gè)行業(yè)內(nèi)，我們可以做到又快、又光、又好，這就是我們獨(dú)特的優(yōu)勢。而這主要來源于我們的技術(shù)沉淀、品牌優(yōu)勢，還有優(yōu)良的售后服務(wù)。所以我們公司在國內(nèi)是一家非常具有競爭力的企業(yè)。
中國粉體網(wǎng)：請您分享一下貴公司設(shè)備在碳化硅半導(dǎo)體加工領(lǐng)域應(yīng)用的成功案例。
姜總：在幾年前，公司產(chǎn)品出口到全球各個(gè)國家，其中就有日本。我們知道日本在芯片產(chǎn)業(yè)方面發(fā)展是比較靠前的，其中日本某個(gè)公司在碳化硅半導(dǎo)體這方面走的比較靠前，我們嘗試著給日本一家規(guī)模較大的企業(yè)做碳化硅產(chǎn)品切割，直徑差不多到360mm。在這方面，目前國內(nèi)做的好一點(diǎn)的尺寸能達(dá)到12英寸，市場上基本上也是6英寸和8英寸。而國外現(xiàn)在已經(jīng)做到14英寸，甚至能到20英寸，技術(shù)相對領(lǐng)先。
在碳化硅晶片切割環(huán)節(jié)，目前國內(nèi)通用的是采用砂線切割機(jī)進(jìn)行切割，這個(gè)方法有兩個(gè)缺點(diǎn)：一是切割精度不是很高，二是粉塵污染特別大。日本有家公司是利用電火花線切割機(jī)的原理來做的，不是普通的砂線切割機(jī)，但是這臺(tái)設(shè)備價(jià)格昂貴，價(jià)格能達(dá)到1億日元，折合人民接近500萬。在此背景下，公司與高校聯(lián)合研發(fā)，做了一臺(tái)專用的切割碳化硅的設(shè)備，價(jià)格在幾十萬，這要比國際廠商便宜很多，而且切割效果一點(diǎn)不輸國際大廠，尤其是針對大尺寸的晶圓切割，目前來講全球沒有，日本那家公司也只是能切割到尺寸300mm左右的晶圓。今天我們現(xiàn)場展示的這款是切割到360mm的晶片。我們目前還在合作，在做20英寸的切割工作，相信后續(xù)我們也會(huì)做出一些更好或更新的成績，可以和大家分享。
中國粉體網(wǎng)：除了半導(dǎo)體領(lǐng)域，貴公司的設(shè)備還有其他哪些應(yīng)用領(lǐng)域呢？
姜總：公司多年來深耕電加工領(lǐng)域，公司產(chǎn)品主要的核心應(yīng)用領(lǐng)域就是模具制造，比如我們?nèi)粘Ｉ钪惺褂玫目照{(diào)電機(jī)、空調(diào)扇葉，或者是電飯煲等，這些家電類都離不開模具。我們的電加工機(jī)床更多的是應(yīng)用于模具制造中，精度可以達(dá)到0.01mm之內(nèi)。
前兩年，我們給蘋果產(chǎn)業(yè)鏈，如手機(jī)、pad等的零部件做加工，我們有專用應(yīng)用于蘋果產(chǎn)業(yè)鏈加工零部件的設(shè)備，大約有幾百臺(tái)。另外，我們的產(chǎn)品在航天航空領(lǐng)域也有所應(yīng)用，我們是中國航天和航空的內(nèi)部推薦企業(yè)，在國家需要自立自足，國產(chǎn)替代的時(shí)候，我們貢獻(xiàn)出自己的一份力。
此外，我們還做了自動(dòng)化集成，原本需要買進(jìn)口設(shè)備，需要1.1到1.2億，那我們產(chǎn)品對標(biāo)國際產(chǎn)品，產(chǎn)品性能一點(diǎn)不亞于國外設(shè)備，價(jià)格可能只需要到3000萬左右。
中國粉體網(wǎng)：好的，我們今天采訪就到這里，謝謝姜總。
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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