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德國耶拿在半導體解決方案（二）：輕松拿捏高純濕電子化學品

東南科儀 2025-10-20 | 閱讀：416

景介紹

在電子產品的制造過程中，嚴格的規格要求使得任何微小的污染或不純凈物質都可能嚴重影響半導體材料的成品率、電性能和可靠性。伴隨集成電路技術的不斷進步，超凈高純試劑的發展也顯得尤為重要。每一代微細加工技術都需搭配相應的超凈高純試劑，只有不斷更新和升級，才能滿足現代集成電路生產的需求。

由于TOC（總有機碳）分析儀具有靈敏度高、分析速度快、抗干擾能力強的特點，TOC在超高純試劑的檢測中扮演著關鍵角色，不僅確保了化學品的純度，還直接影響到電子產品的最終質量及其在市場上的競爭力。

目前TOC分析已在多種電子級濕電子化學品的品控中進行監控，如：硫酸、鹽酸、磷酸、硼酸等各類酸，氨水、氫氧化鈉等堿，及雙氧水等化學品。

德國耶拿TOC解決方案

難點突破1：直接進樣，無需稀釋

電子級試劑往往由于其純度高但待測TOC含量低，而使得允許的稀釋倍數受限。有些高純試劑稀釋后TOC將與空白無差別，無法準確定量。

以雙氧水為例，其在分解過程中會產生大量氧氣，同時高溫下水分會迅速氣化，測定時的氣流波動會嚴重干擾測定結果。傳統分析采用稀釋進樣的方法，而電子級的雙氧水含量特別低，稀釋后TOC含量與空白相差不大，會帶來很大的稀釋誤差，同時空氣中的CO2也會影響分析結果。

德國耶拿獨家的VITA技術用來補償不可避免的分析氣體流量的波動引起的信號變化，拓寬低濃度的檢測范圍，使得TOC系統更精確，靈敏，穩定。對高達70%濃度H2O2溶液無需進行稀釋，可直接進樣分析。同時配備高聚焦NDIR檢測器，對CO2具有更高靈敏度，可獲得更為可靠的結果，且一次進樣可以同時分析TOC和TN參數，可以實現高效高通量測定。

案例一：30%/70% 雙氧水TOC/TN測定

對電子級分別為30%和70%雙氧水溶液進行直接測定，70%雙氧水RSD達到0.5%，說明VITA流量技術很好地消除了燃燒過程中氣流波動帶來的影響，測試樣品后對2.5ppm的標液進行回測，回收率為103%，說明儀器的氧化性能佳；且儀器能兼顧TN的同時測試，為品控提供有力的數據支持。

難點突破2：超強的酸堿耐受性

對于酸堿性的樣品，如果直接進入定量閥，長時間會腐蝕定量閥的密封圈和內部器械，會加劇定量閥的損壞速度，導致進樣體積不準確等問題。德國耶拿在硬件上進行技術革新，在保證進樣體積準確性的前提下，用超純水代替樣品進入定量閥，避免樣品對定量閥的損耗，可以長時間分析酸堿性，甚至是有一定顆粒的高鹽樣品，耗材少，維護成本低。

案例二：電子級硫酸中TOC測定

考慮到高純硫酸在管道有很明顯的放熱反應，樣品稀釋測定，同時進行加標回收實驗。從實驗數據可以看出，樣品加標回收率為96%，TOC標樣的回收率為97%，說明儀器對高純硫酸的基體耐受性好，能準確測定電子級硫酸中低濃度TOC的含量。

案例三：電子級氨水中TOC測定

由于氨水是堿性溶液且電子級的氨水TOC濃度本身就比較低，容易吸收空氣中的CO2 ,造成結果的不準確性，測試前對樣品進行稀釋中和，同時扣除酸空白。從實驗數據可以看出，樣品RSD均小于1%，0.1ppm的樣品加標回收率為99%，0.1ppm TOC標樣的回收率為102%，說明儀器對低TOC的電子級氨水測定準確性高。

難點突破3：儀器自動繪制標準曲線+ 長達一年校準周期

對于較低TOC濃度樣品的測定，如何繪制低濃度的標準曲線顯得非常重要。由于配制標液需要稀釋液，但實驗室很難找到TOC為零的稀釋液，在配制溶液的過程也容易引入空氣中的CO2 ,得不到線性較好的曲線。德國耶拿multi N/C 總有機碳分析儀提供吸取不同體積繪制曲線的功能，無需人為配制曲線，線性輕松達到0.999以上，且校準周期長達一年，減少每次做樣前曲線繪制的人力和時間，讓您有更多的時間做重要的事情。