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四方光電（武漢）儀器有限公司
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產品名稱：氧分析儀
產品型號：Gasboard-3053
產品概述
氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應時間快、穩定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜?況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。
產品特性
測量精度?，ppm級別測量
響應速度快，秒級出數
即插即??體化設計
內置采樣泵與過濾系統，安裝維護便捷
本地化端到端服務保障
應用領域
半導體、LED等?產過程中氧濃度控制、惰性保護?體?產及焊接?藝中氧濃度監測、空?分離加??藝中氧濃度測定、真空?套箱系統中氧含量的監控
技術參數
| 微量-常量氧分析儀 | ||
| 功能性能需求 | 檢測氣體 | O2 |
| 量程范圍 | 0~10~100~1000ppm，0~25%，自動切換 | |
| 檢出限 | 0.5ppm | |
| 分辨率 | 0.1ppm | |
| 準確度/示值誤差/精度 （ppm=氧分壓/當前?作總壓） | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準 | |
| 響應時間 | T90≤10s | |
| 預熱時間 | ≤20min | |
| 零點漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 重復性 | ±0.5%F.S. | |
| 電氣結構 | 通訊協議 | RS-232，RS-485 |
| 氣路接口 | 進氣/出氣 1/4''VCR-F | |
| 結構形式 | 一體式 | |
| 結構尺寸（L*W*D） | 210*134*300mm | |
| 環境要求 | 傳感器（RSM）工作溫濕度 | 溫度：0~50℃；濕度：0~95%RH，非冷凝 |
| 采樣流量 | 0.5~1L/min傳感器內設控流組件 | |
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企業名稱
四方光電（武漢）儀器有限公司企業類型
有限責任公司（自然人投資或控股的法人獨資）信用代碼
914201005519974097法人代表
熊友輝注冊地址
武漢東湖新技術開發區關東街道鳳凰園一路5號科夢除氨產業基地1棟1-5層成立日期
2010-04-19復制注冊資本
3000萬元人民幣有效期限
2010-04-19 至 2030-04-19經營范圍
一般項目 : 技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;軟件開發;信息系統集成服務;碳減排、碳轉化、碳捕捉、碳封存技術研發;石油天然氣技術服務;物聯網技術研發;機械設備研發;儀器儀表制造;儀器儀表銷售;大氣污染監測及檢測儀器儀表制造;大氣污染監測及檢測儀器儀表銷售;環境監測專用儀器儀表制造;環境監測專用儀器儀表銷售;環境保護監測;電子產品銷售;電子元器件批發;非居住房地產租賃;貨物進出口;技術進出口;進出口代理。（除許可業務外，可自主依法經營法律法規非禁止或限制的項目）
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