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四方儀器紅外氣體傳感器,精準測量,助力CVD腔室的EPD檢測

四方儀器紅外氣體傳感器,精準測量,助力CVD腔室的EPD檢測

四方光電(武漢)儀器有限公司

產品介紹

發布時間:2025/05/23     420人已觀看

簡介: 四方儀器始終專注于氣體分析儀領域的技術研發與創新,針對薄膜沉積設備清潔終點檢測需求,推出SiF4紅外氣體傳感器。其基于公司自主知識產權的雙光束紅外(NDIR)技術,精確測量半導體應?中微量特種?體的紅外光譜吸收,其零點漂移低、重復性好,確保每次清洗終點一致。測量穩定性高(準確度≤±1.0% F.S.),響應速度快(響應時間T90≤2秒),實時監測氣體濃度變化;原位設計,結構緊湊,采用耐腐蝕材料,便于集成與維護;支持模擬/數字通信,靈活適配各類系統。實際測試中,其成功實現清潔終點的精準控制,助力CVD設備技術升級。

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