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產(chǎn)品介紹

澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場景及可靠的測量性能，可以對(duì)微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺(tái)階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

JS系列臺(tái)階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號(hào)處理算法，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng)，通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對(duì)軟質(zhì)材料的損傷，又確保了測量過程的穩(wěn)定性。此外，設(shè)備搭載的攝像頭實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)，可同步觀察樣品區(qū)域與探針尖端的位置關(guān)系，輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu)，顯著提升測量效率。

作為國產(chǎn)科學(xué)儀器的突破性成果，JS系列臺(tái)階儀打破了國外品牌在高端表面測量設(shè)備領(lǐng)域的長期壟斷，憑借高性價(jià)比與本地化服務(wù)優(yōu)勢，成為國內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。

特點(diǎn)

量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計(jì)、售后便捷、極高性價(jià)比

應(yīng)用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

▲ 批量測試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等

系統(tǒng)組成

▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

▲ JS300B

選配品

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

技術(shù)參數(shù)

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品