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鉆頭鍍膜、銑刀鍍膜、模具鍍膜

建筑玻璃鍍膜和汽車玻璃鍍膜用光學(xué)鍍膜設(shè)備

磁控濺射連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線

光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測距儀鍍制的反射膜

增透膜和吸收膜

艙體尺寸：1200×1500、1400×1950、1600×1950、1800×1950

電源類型：直流磁控電源、中頻磁控電源、高壓離子轟擊電源

圓柱靶：直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶

艙體結(jié)構(gòu)：立式開門

真空系統(tǒng)：滑閥泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵（可選裝：分子泵、深冷泵）

氣路系統(tǒng)：1-4路MFC

極限真空：6×10－4pa（空載）

抽氣時(shí)間：空載大氣抽至5×10－3pa小于13分鐘

旋轉(zhuǎn)方式：6軸、8軸、9軸公自轉(zhuǎn)，變頻無級調(diào)速

控制方式：全自動(dòng)、觸摸屏+PLC