非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
真空溫控精度：
±5~±10最高溫度：
1500-2400額定溫度：
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碳化硅燒結爐（臥式）
產品描述：
主要用于半導體領域的碳化硅陶瓷制品的真空燒結、氣氛燒結。
應用范圍：
碳化硅陶瓷平臺、導軌、方鏡、反射鏡、晶舟、槳、爐管、吸盤、卡盤、機械臂、聚焦環、刻蝕環、流化床反應容器等
可采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術，能在高溫條件下長時間使用；
采用特殊的高溫紅外測量技術，控溫準確，誤差小；
全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強；
多級高效尾氣處理系統，環境友好，易清理；
可選配脫脂系統，實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理；
適于工藝氣氛：N2/Ar。
| 參數\型號 | HSC-050511 | HSC-100612 | HSC-101015 | H(D)SC-101050 |
| 工作區尺寸 W×H×L（mm） | 500×500×1100 | 1000×600×1200 | 1000×1000×1500 | 1000×1000×5000 |
| **溫度（℃） | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質：等靜壓石墨/CFC/陶瓷
熱電偶：K/N/C/S分度號
紅外儀：單比色/雙比色
暫無數據！
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