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Htc日揚(yáng)真空產(chǎn)地
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超高真空閘閥-UHV gate valve的組成主要由三個(gè)組件組成分別為驅(qū)動(dòng)器,閥車(chē)/閥門(mén)與閥體。Htc日揚(yáng)真空(Htc Vacuum)所提供的閘閥可分成應(yīng)用于高真空與超高真空兩大類, 用于超高真空系統(tǒng)使用的閘閥是屬旋轉(zhuǎn)式直線作動(dòng)。藉手動(dòng)或氣動(dòng)的驅(qū)動(dòng)閥桿來(lái)驅(qū)動(dòng)真空閥門(mén)齒輪以達(dá)閘門(mén)之開(kāi)闔功能。真空閘閥含有波紋管與無(wú)波紋管。接口端可配置KF, ISO, ANSI, JIS與CF法蘭。
Htc日揚(yáng)真空(Htc Vacuum)設(shè)計(jì)的所有系列真空閘閥適用于真空排氣系統(tǒng)，超高真空應(yīng)用的抽氣系統(tǒng)，半導(dǎo)體技術(shù)，同步幅射中心與學(xué)術(shù)研究系統(tǒng)等。
規(guī)格說(shuō)明
材質(zhì) | 本體 | 304 S.S. | |||
閥車(chē) | 304 S.S. | ||||
閘門(mén) | 304 S.S. | ||||
波紋管 | AM350 | ||||
使用壽命 | 4吋(包含)以下 | 100,000 cycles | |||
4吋以上 | 50,000 cycles | ||||
1大氣壓力下之漏率 | <5x10-10 mbar. l /sec for gasket seal | ||||
耐溫限制 | 閥門(mén)本體 | 開(kāi) Open | 200℃ metal bonnet seal | ||
關(guān) Closed | 150℃ metal bonnet seal | ||||
手動(dòng)式和氣動(dòng)式之驅(qū)動(dòng)器 | ≤ 80℃ | ||||
使用壓力范圍(mbar) | 1x10-10 ～ 1000 | ||||
**使用壓差 ΔP(mbar) | 開(kāi)啟前 27mbar | ||||
標(biāo)準(zhǔn)密封 | 閘門(mén) | Viton O-ring | |||
閥蓋 | OFHC copper gasket | ||||
驅(qū)動(dòng)器 | 手動(dòng)式或氣動(dòng)式 | ||||
氣壓源 |
| ||||
表面處理 | 表面拋砂處理 | ||||
選配 | a. 位置指示器 | ||||
| 極限開(kāi)關(guān)連接 | D-sub Female 9 pins Current Rating | 3A 110VAC | |||
| 5A 24VDC | |||||
保固條件
自客戶收到貨品起一年內(nèi), 或到達(dá)產(chǎn)品設(shè)定的使用次數(shù), 先到者為準(zhǔn)
操作環(huán)境限于空氣, 惰性氣體及真空
因天然災(zāi)害, 錯(cuò)誤操作造成的損壞及消耗品不在保固范圍內(nèi)
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