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Htc日揚(yáng)真空擁有專業(yè)UHV真空技術(shù)提供同步輻射真空腔室設(shè)計(jì)制造, 依客戶需求特制提供各式超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、建造、量測(cè)技術(shù)服務(wù)。
材質(zhì):S.S.304
表面處理:電解拋光
規(guī)格:CF150、CF200方形超高真空(UHV)腔室
泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec
工作壓力<7.5 x10-10 torr
RGA總壓<1 x10-9 torr時(shí), 45amu以上物質(zhì)總分壓<0.1%
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