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二氯硅烷氦離子色譜儀儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化A級項目、上海市重點新產品、上海市火炬計劃和2009科學儀器產品等稱號。
| 項目名稱 | 指標 | ||
| 三氯氫硅(SiHCl3 )含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| (一氯硅烷+氯化氫)含量（SiH3Cl+HCl）含量”，以氯化氫計（體積分數）/l0-6 ≤ | 50 | ||
| 氮（N2）含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| （氧+氬）（O2+Ar）含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 一氧化碳（CO）含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 氫（H2）含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| 二氧化碳（CO2）含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 總烴（THC）含量，以甲烷（CH4）計（體積分數）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 金屬元素及其他元素含量 | （硼+鋁）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | |
| （磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤ | 0.3 | ||
| 鎵（Ga）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 銻（Sb）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 銦（In）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 鈣（Ca）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鉻（Cr）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鐵（Fe）含量/（μg/kg） ≤ | 5 | ||
| 鉀（K）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鈉（Na）含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 鎳（Ni）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鉬（Mo）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 錳（Mn） 含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 銅（Cu）含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 鎘（Cd） 含量/（μg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 鈷（Co）含量/（μg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 鋅（Zn）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
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