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四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化A級項目。
| 項目 | 指 標 | ||
| 四氟化碳（CF4）純度（體積分數）/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 氮（N2）含量（體積分數）/10-6 ＜ | 4 | 20 | 40 |
| 氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
| 二氧化碳（CO2）含量（體積分數）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
| 一氧化碳（CO）含量（體積分數）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）含量（體積分數）/10-6 ＜ | 1 | 1 | 5 |
| 水分（H2O）含量（體積分數）/含量，10-6 ＜ | 3 | 5 | 10 |
| 酸度（以HF計）含量含量（體積分數）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| 其它鹵碳化合物a含量（體積分數）/10-6 ＜ | 1 | 10 | 30 |
| 總雜質含量(體積分數)/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
| 顆粒 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
其它鹵碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。 | |||
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