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產(chǎn)品名稱:Harrick PDC-32G-2 產(chǎn)品編號(hào):產(chǎn)品規(guī)格: |
型號(hào)規(guī)格:PDC—32G-2
整機(jī)規(guī)格:8.5×10×8(長(zhǎng)×寬×高)英寸 (216×254×203)mm
反應(yīng)艙規(guī)格:Φ3×L6.5英寸耐熱玻璃 (Φ76×L165)mm
反應(yīng)艙有效容積:0.75L
輸入電源:220 V/50Hz
整機(jī)輸入功率:100 W
射頻輸出檔:低檔680V DC、10mA DC、6.8W/中檔700V DC、15mA DC、10.5W/高檔720V DC、25mA DC、18W
常用工作氣體:空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等
特征:緊湊的臺(tái)式設(shè)備,應(yīng)用一個(gè)**功率為18瓦的RF線圈,沒有RF幅射,符合CE安全標(biāo)準(zhǔn)。艙蓋可拆卸。
選配件:石英等離子清洗艙
提供各自計(jì)量?jī)煞N不同氣體進(jìn)氣和監(jiān)測(cè)壓力的氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM
需要:兼容的真空泵,*小速率為1.4 m3/hr,**極限為200 MTorr
包括:1/8英寸NPT針閥束引入氣體和控制壓力
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