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本離子濺射儀主要的特點就是“無油，高真空”，制備薄膜純度更高，薄膜質量更優；并且能夠在超凈間內使用。
另外附加原位等離子清洗選配模塊，針對SEM樣品清除碳氫污染（有機物積碳污染），實現樣品表面活化和親水化處理。
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