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熱蒸發鍍膜機 - 極高性價比!
型號:EasyDEP
產地:韓國原裝進口
儀器特點:
1/ 沉積材料:金屬;
2/ 膜厚均勻性:≤ ± 5 % (4英寸基底);
3/ 沉積方式:熱蒸發舟;
4/ 極限真空:5.0 x 10 -6 Torr;
技術規格:
1/ **樣品尺寸:6英寸;
2/ 基底旋轉:0~10rpm;
3/ 不銹鋼腔體,ID250 x H300 mm;
4/ 真空泵:機械泵,150L/Min;擴散泵,215L/Sec;
5/ 薄膜厚度監控:石英振蕩傳感器實時厚度控制;
6/ 厚度精度:0.5%;
7/ 熱蒸發源:4英寸熱蒸發舟,交流電源;
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