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| 1. | 設備名稱: | 霍爾效應測試儀 |
| 2. | 功能描述: | 測量半導體薄膜中載流子類型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等參數 |
| 3. | 設備明細: | |
| 3-1 | 測試范圍: | Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Type & P Type)等材質的半導體薄膜中載流子類型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等參數 |
| 3-2 | 磁場: | |
| 3-2-1 | 磁場強度: | 0.5T 電磁體 (0.5T 永磁體 / 1.4T 電磁體 兩種磁場可選) |
| 3-2-2 | 磁場類型: | 電磁體 |
| 3-2-3 | 磁場均勻性: | 磁場不均勻性<±1 % |
| 3-3 | 測試樣品: | |
| 3-3-1 | 樣品測試倉: | 全封閉、帶玻璃窗口 |
| 3-4 | 溫 度: | |
| 3-4-1 | 溫度區域: | 80K ~730K |
| 3-4-2 | 溫控精度: | 0.1K |
| 3-4-3 | 溫控穩定性: | ±0.1 K |
| 3-5 | 電阻率范圍: | 10-6~1013 Ohm*cm |
| 3-6 | 電阻范圍: | 10 m Ohms~ 10G Ohms |
| 3-7 | 載流子濃度: | 102~1022cm-3 |
| 3-8 | 遷移率: | 10-2~109 cm2/volt*sec |
| 3-9 | 輸入電流: | |
| 3-9-1 | 電流范圍: | 0.1 pA~10mA |
| 3-9-2 | 電流精度: | 2% |
| 3-10 | 輸入電壓: | |
| 3-10-1 | 電壓范圍: | ±2.5V,*小可測到6×10-6V |
| 3-10-2 | 電壓分辨率: | 3×10-7V |
| 3-10-3 | 電壓精度: | 2% |
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