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在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將保存在石英坩堝內(nèi)的多晶硅等多晶材料高溫熔化，再將籽晶放入變成液體的硅溶液里按自動(dòng)程序用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備, 可控制整體裝料量，全自動(dòng)控制拉晶過(guò)程, 全面數(shù)字化管理，采用中央集中控制系統(tǒng),減少了人為因素的參與，保證質(zhì)量穩(wěn)定性。
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