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磁流體真空傳動裝置是把旋轉運動傳入真空容器的一種部品解決方案,杜絕了氣體泄漏和污染,適用于對密封要求很高的場合。如今,在許多需要自由控制進給的裝置上,真空傳動裝置已得到廣泛應用,如在硅生長、目標位置電子指示器、濺射、等離子蝕刻、化學氣相淀積、離子移置技術、液晶再生過程中,減少了不必要的停機時間,具有特殊意義。
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磁流體真空傳動裝置的說明書有嗎?
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