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規(guī)格 | 技術(shù)指標 |
襯底類型 | 透明或半透明襯底 |
光源 | 氙燈 |
光源壽命 | >8760H |
光譜范圍 | 300-1000nm |
入射角 | 70度（40度-90度 每5度可調(diào)） |
光斑直徑 | 100x120μm(Min80x100um) |
測量時間（不對焦） | <2S(單層模型),<約6s（多層模型） |
膜厚測量范圍（單層膜） | 1nm-15μm |
對焦 | 自動訊號對焦 |
膜厚測量精度 | <0.5nm(基于標片) |
折射率測量精度 | <0.005(基于標片) |
厚度重復(fù)性精度： | <0.5A（1 sigma 標準差,10times）（基于標準片） |
折射率重復(fù)性精度： | <0.0005（1 sigma標準差,10times）（基于標準片） |
可測試膜層數(shù)量 | ≥2層 |
標片數(shù)量 | 2片 |
暫無數(shù)據(jù)！
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