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臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數
| **試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現性 | 1σ 0.5nm以內 |
| 測定范圍 | Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺階儀可以應用在半導體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導體,OLED,生物醫藥,PCB封裝等領域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復性,自動探索樣品表面
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產品質量
售后服務
易用性
性價比
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