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(1)普通樣品臺:樣品直徑:Ф3角度:7°~ 士90°(可旋轉、擺動)
角度:士2°~ ±90°
(2)拋光樣品臺:樣品直徑:Ф3
(3)掃描用樣品臺:樣品直徑:中28(選配件)
可使用不同靶極材料就地為TEM和SEM樣品鍍膜(選配件)
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