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離子刻蝕(拋光/研磨/截面)儀品牌
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北京樣本
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技術參數:
1、真空度:極限真空度5*10-3Pa (不通氬氣);
2、*高壓:(1)100~10000V;
3、樣品臺可旋轉;
4、具有自保護功能;
5、雙離子槍可獨立控制;
6、樣品冷卻:半導體冷卻( 選配件)。
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