主要材質：
金剛石形狀：
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鉆石碟表面的金剛石顆粒不能有疊砂,表面必須足夠平整;表面的金剛石分布密度要足夠多,保證一定的磨削能力;修整器表面的金剛石顆粒在研磨拋光墊的過程中不能脫落,以免脫落的金剛石顆粒劃傷晶圓表面。
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