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*小流量：0.1SCCM     **流量：500SLPM

S100-PL/PLG低(極低)壓損氣體層流質量流量計系列產品滿量程壓損*低可至400Pa,低壓損可**程度減少氣路系統造成的波動影響，可在接近大氣壓的壓力下或在可用系統壓力很小的情況下進行流量測量，保證流量測量更加準確和穩定。

特征

• 原理

  層流壓差式

  流量計

• 滿量程壓損

  ≤400Pa~2KPa

• 高精度

  ±1.0%

  讀數精度

• 高重復性

  ±0.2%

  F.S.

• 自由實現更改氣體介質

  觸屏操作

  調整混合氣體比例和修改部分參數信息

• 寬溫度、壓力適用范圍

  -20℃~60℃、1Mpa

  以內

• 實時顯示

  5種

  過程變量

• 內置

  51種

  氣體和混氣測量