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S系列氣體層流質量流量計用于實時測量過程氣體的流量，特有的層流壓差技術及**核心算法，內置的高精度壓力、溫度傳感器實時補償，產品具有高精度、高重復性、低零點、溫度、壓力漂移量等特點，強大的觸摸顯示屏可顯示實時壓力、溫度、工況流量、標況流量、累計流量，多氣體觸摸式切換，無須轉化系數。
特征
高精度（可溯源）
±0.5%~±1.0%
讀數精度
量程范圍
0.5sccm~5000slpm
快速響應
100ms
無需預熱
更改氣體介質、調整混合氣體比例
觸屏式操作
修改部分參數信息
高可靠性
高抗過載、電磁干擾
能力
適用范圍
寬溫度、壓力
寬量程比
100:1
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