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1.提供先進的成套MPCVD氣相沉積系統。
2.系統核心器件電源、磁控管國產化，微波功率可到75kW。
3.擁有CST、Comsol模擬仿真和大型工作站，可進行2450MHz、915MHz頻段的腔體仿真優化和快速迭代升級。
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