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Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)
Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng),專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測量而設(shè)計(jì),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測,也可用于顯示市場等基板檢測。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(FOV)掃描區(qū)域,支持上下表面檢測。其獨(dú)特光學(xué)設(shè)計(jì)使產(chǎn)品在計(jì)量過程中無需移動(dòng)即可完成檢測。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制,或直接集成至產(chǎn)線。
生產(chǎn)過程中的一致性測量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測
操作簡便: 不受操作人員影響,自動(dòng)化,潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測量(數(shù)量、位置、尺寸)
一致性: 每次測量都保持客觀、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果

FM-PDS: 直接檢測表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用,提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù)。
該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇。
它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,以及 較低的維護(hù)成本,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng)。
對于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用, PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性:雙面同 時(shí)掃描(選配);
靜態(tài)視場掃描(在圖像采集過程中無需移動(dòng)產(chǎn)品)。
多功能模塊化平臺
系 統(tǒng) 可 定 制,以 適 應(yīng) 每 個(gè) 生 產(chǎn) 認(rèn) 證 流 程,或 融 入 生 產(chǎn) 線 。其 配 置 包括手動(dòng)或自動(dòng)晶圓抓取移動(dòng)設(shè)備、用于檢測和清潔的封裝開啟 設(shè)備、填充設(shè)備、機(jī)械臂、檢測單元以及清潔設(shè)備。

該系統(tǒng)可根據(jù)需要客戶需求進(jìn)行定制和擴(kuò)展。測量模塊也可為系 統(tǒng)集成商和原始設(shè)備制造商(OEM)提供貼牌服務(wù)。
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今年 11 月 2 日起,每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
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2020-12-21
2020-12-21
2025 年 10 月 30 日至 31 日,飛納電鏡將舉辦一場專為電鏡用戶設(shè)計(jì)的培訓(xùn)會(huì),地點(diǎn)位于西安!無論你是初學(xué)者還是有經(jīng)驗(yàn)的科研人員,這次培訓(xùn)都將為你提供豐富的學(xué)習(xí)機(jī)會(huì),助你提升操作技能,拓展科
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瑞典皇家科學(xué)院決定,將 2025 年諾貝爾化學(xué)獎(jiǎng)授予北川進(jìn)(Susumu Kitagawa)、理查德?羅布森(Richard Robson)與奧馬爾?M?亞吉(Omar M. Yaghi),以表彰三人
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在日常生活中,我們熟悉的CT大多出現(xiàn)在醫(yī)院,醫(yī)生通過它來判斷身體內(nèi)部的健康狀況。可是你知道嗎?這項(xiàng)技術(shù)早已“走出醫(yī)院”,進(jìn)入了科研和工業(yè)檢測領(lǐng)域,并且分辨率提升到了微米甚至亞微米級,能揭示各種材料、生
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)的工作原理介紹?
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)的使用方法?
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)多少錢一臺?
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)使用的注意事項(xiàng)
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)的說明書有嗎?
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)的操作規(guī)程有嗎?
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎?
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)有現(xiàn)貨嗎?
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)包安裝嗎?
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