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W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統品牌
鉑世光產地
上海樣本
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| 系統特點： |
| ·采用方位換向對稱方式微波耦合，來提高微波的均勻性 |
| ·穩定沉積面積20cm2 |
| ·**功率達到6KW |
| ·使用純凈的石英窗 |
| ·采用不銹鋼反應腔，能耐高溫 |
| ·高壓力控制，產生高密度單模式等離子體 |
| ·使用高精度氣體質量流量計，高可靠性穩定的壓力控制系統 |
| ·穩定的微波輸入 |
| 應用： |
| ·寶石 |
| ·復合熱沉片 |
| ·精密加工刀具刀頭 |
| ·紅外光學窗口 |
| ·量子傳感器/NV色心量子器件 |
| ·功率電子器件 |
| ·高增益激光器 |
| ·高純電化學電極 |
| ·納米金剛石材料 |
| ·第四代半導體材料 |
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