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垂直離子鍍膜機品牌
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型號:IBSV-1030 特點: a)基板垂直放置,水平監(jiān)控; b)轉(zhuǎn)靶左右可調(diào),保證靶面中心和離子源**距離; c)基板:12吋×1 ; d)靶材:兩靶或三靶可更換; e)多光路監(jiān)控。 f)工件夾具:12吋 |
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