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臥式LPCVD品牌
賽瑞達(dá)產(chǎn)地
江蘇樣本
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設(shè)備主要特點(diǎn)
◎ 采用先進(jìn)的閉環(huán)控制系統(tǒng)，壓力穩(wěn)定無波動(dòng)
◎ 高精度溫控系統(tǒng)
◎ 工藝薄膜均勻性優(yōu)異
★支持SECS/GEM通訊
主要技術(shù)指標(biāo)
◎ 適用硅片尺寸:4~6"
◎ 工作溫度范圍:350℃~800℃
◎ 恒溫長(zhǎng)度:300-1100mm(可定制)
暫無數(shù)據(jù)！
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