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主要用于去除殘留在晶圓表面的微塵顆粒、有機物、無機物、金屬離子、氧化物等雜質,滿足集成電路制造對清潔度的極高要求,對晶圓生產的良率起到了重要的作用。全系列原材料電子級純化產線,諸多核心材料自主生產。
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