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圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
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| 圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備 | |
| 型號(hào) | AMMI-2000 |
| 晶圓尺寸 | 200mm/300mm |
| 晶圓類型 | Semi Standards 、MEMS、Glass、Thin、Warped、Taiko、Frame |
| 檢測(cè)方式 | 2D測(cè)量 |
| 檢測(cè)模式 | 明/暗場(chǎng)、偏光、微分干涉 |
| 分辨率 | 6μm - 0.5μm |
| 產(chǎn)率 | 100WPH@300mm, 6μm |
| 鏡頭 | 可選配1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X等放大倍率 |
| 檢測(cè)類型 | 劃傷、外來(lái)物污染、RDL缺陷等 |
| 通訊 | SEMI standard, SECS/GEM |
| 自動(dòng)化 | EFEM ( 2 loadPort & Robot) |
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