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產品介紹
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備(NOVA-2000-LN)，是用于鈮酸鋰、鉭酸鋰等襯底晶圓的缺陷檢測設備，可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工藝類型，可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷，對晶圓的質量控制具有重要作用。
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備(NOVA-2000-LN)集成明場、暗場等多種檢測模式，對各類缺陷提供可靠的缺陷信息，結合缺陷自動檢測與分類算法，提取包括缺陷類型、尺寸、坐標、統計數據等在內的各頂缺陷數據，生成晶圓缺陷檢測報告，供用戶進行質量評估和判定。
| 鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設備 | |
| 型號 | NOVA-2000-LN/LT |
| 晶圓類型 | 鈮(鉭)酸鋰拋光襯底，黑化、半黑化、全透明等 |
| 晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
檢測方式 | 明場、暗場 |
| 產率 | ≥20WPH(@6英寸晶圓，分辨率1μm) |
| ≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm) | |
| 自動化 | 2 LoadPort |
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