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產品優勢：
（1）獨特的雙軸支撐結構，降低了磨削單元間的振動和變形的相互干擾，有效提升設備的穩定性和加工質量的一致性
（2）多參數傳感器測量系統，實時采集傳輸并分析處理設備運轉參數，增強設備故障預測性維護
（3）全流程自動化加工系統，實現多裝置的高度集成，多功能兼容，降低人工干預，提升加工效率與安全性
產品特點：
（1）結構緊湊，輕量化設計
（2）優異的結構剛性
（3）靈活配置，廣泛應用性
（4）軟件定制化，人性化操作界面
（5）持久耐用，安全無憂
| 項目 | 技術參數 |
| 型號 | CMG200 |
| 加工材料 | SiC, Si, GaN等硬脆材料 |
| 加工晶圓尺寸 | 4/6/8英寸 |
| 砂輪直徑 | 313mm |
| 可加工**厚度 | 60mm |
| 磨削主軸轉速 | 6000rpm |
| 磨削主軸功率 | 13KW |
| 片內厚度偏差TTV | 1.5μm |
| 表面粗糙度Ra | 3nm |
| 自動裝夾裝置 | 可選配 |
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