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PRISMO HiT3? MOCVD設(shè)備品牌
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中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備PRISMO HiT3?，是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長(zhǎng)的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔**溫度可大達(dá)1400攝氏度，單爐可生長(zhǎng)18片2英寸外延片，并可延伸到4英寸晶片。 中微高溫MOCVD設(shè)備PRISMO HiT3專為深紫外LED量產(chǎn)而設(shè)計(jì)，是目前業(yè)內(nèi)紫外LED產(chǎn)能先進(jìn)的高溫MOCVD設(shè)備。
適用于高溫氮化鋁和深紫外 LED生長(zhǎng)的關(guān)鍵設(shè)備
優(yōu)異均勻性和高效能相結(jié)合
適合高晶體質(zhì)量和高AIN生長(zhǎng)速率的新穎腔體設(shè)計(jì)
創(chuàng)新的實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
工藝溫度**可達(dá)1400度，具有優(yōu)異的溫場(chǎng)均勻性和控制穩(wěn)定性
具有高穩(wěn)定性、自動(dòng)化的真空傳送系統(tǒng)，抑制顆粒的產(chǎn)生
界面友好、全自動(dòng)化的操作系統(tǒng)
競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)
優(yōu)異的工藝重復(fù)性，簡(jiǎn)化工藝調(diào)整需求，提高產(chǎn)品良率 單爐可生長(zhǎng)18片2英寸外延晶片，具有較低的生產(chǎn)成本 集成頂蓋升降機(jī)構(gòu)，簡(jiǎn)化設(shè)備維護(hù)，提高設(shè)備利用率 業(yè)界**的UVC LED產(chǎn)能及維護(hù)周期
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