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純化指標表
氣體類別 | 可純化氣體 | 去除雜質 | 純化指標 |
D-惰性氣體 | N2、Ar、He、Ne、Kr | H?O、02、CO、CO2、H?、NMHC | <1ppm |
Y-氧氣 | O?XCDA | H?O、CO?、NMHC | |
Q-氫氣 | H? | H?O、0?、CO、CO?、NMHC |
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