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名稱 | wafer清洗機 |
工藝段 | Cmp 后清洗 |
型號 | CAC-01 |
對應產品 | 4~8inch |
清洗方式 | 水平流片+PVA brush |
清洗工藝 | RCA 或定制 |
干燥方式 | SRD+N? |
傳輸方式 | Robot 進出 |
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