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缺陷檢測設備 U315 系列品牌
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U315 是 SGSSEMI 國產自研 AOI(Automation Optical Inspection, 自動光學檢測) 量檢測設備,可用于表面缺陷檢測。U315 采用明場與暗場相結合的光學架構,既能檢測硅基不透明材質,又能檢測第三代半導體、玻璃等透明材質。在算法端,U315 應用現代 AI 缺陷分類配合傳統經典算法,實現晶圓缺陷精準捕捉。
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