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Alpha 9770 有圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備品牌
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有圖形晶圓襯底/外延無損檢測設(shè)備Alpha 9770：
適用于4、6、8英寸Si、SiC及LT Wafer等多種材料；
可針對半導(dǎo)體工藝制程中的COW及COT進(jìn)行高效率、高精確度的缺陷檢測；
采用先進(jìn)的成像方式，即表面線陣快速掃描和高清面陣在線Review，確保了圖像的清晰度和檢測的全面性；
提供多倍率鏡頭選擇，適應(yīng)不同精度的檢測需求。
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