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多弧離子鍍技術(shù)的工作原理主要基于冷陰極真空弧光放電理論。圖1為多弧離子鍍工作原理示意圖，點(diǎn)燃真空電弧后，陰極靶材表面上出現(xiàn)一些不連續(xù)、大小和形狀多樣、明亮的斑點(diǎn),它們?cè)陉帢O表面迅速地做不規(guī)則的游動(dòng),一些斑點(diǎn)熄滅時(shí)又有些斑點(diǎn)在其他部位形成，維持電弧的燃燒。陰極斑點(diǎn)的電流密度達(dá)104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度發(fā)射金屬蒸氣，其中每發(fā)射10個(gè)電子就可發(fā)射1個(gè)金屬原子,然后這些原子再被電離成能量很高的正離子（如Ti+）,正離子在真空室內(nèi)運(yùn)行時(shí)與其他離子結(jié)合（如與N-形成TiN），沉積在工件表面形成涂層。