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SiC晶體外延生長微觀機理研究

推薦陳雪江副教授:SiC晶體外延生長微觀機理研究(報告)

中國粉體網將于2025年8月20-21日在江蘇蘇州舉辦第三代半導體SiC晶體生長及晶圓加工技術研討會。本次會議聚焦SiC晶體生長技術難題、設備研發及晶圓加工全流程(生長→切割→減薄→磨拋→清洗→檢測),匯聚行業專家及企業代表[更多]

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