推薦堅定行走在集成電路化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的路上——華海清科董事長路新春

中國粉體網(wǎng)訊路新春，華海清科股份有限公司董事長，清華大學(xué)機(jī)械工程系首席研究員。長期從事納米摩擦學(xué)、納米制造理論與技術(shù)研究，是我國最早開展納米摩擦學(xué)研究的科研人員之一。帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)建立了我國自主的集成電路化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)體系，研制[更多]