推薦半導體用陶瓷靜電卡盤，我們才剛剛起步——訪清華大學潘偉教授

中國粉體網訊 在半導體產業鏈中，以先進陶瓷為代表的關鍵零部件是支撐半導體設備實現先進制造的重要載體，也是目前國產化替代的重要領域。同時，以碳化硅為代表的第三代半導體材料已展現出極其重要的戰略性應用價值，其中碳化硅單晶制備占據[更多]