推薦專家報(bào)告：基于金剛石薄膜的微機(jī)電諧振器制作及性能研究

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是將微型機(jī)械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器與集成電路集成于微小芯片的技術(shù)，小如米粒卻能讓設(shè)備擁有“感知與互動(dòng)”的智能能力。在人工智能技術(shù)迅猛發(fā)展與全球科技格局深度變革的背景下，開(kāi)發(fā)基于新材料體系的高[更多]